第271章 跟着我再搞一个晶体?
还没等大家欣赏完,高振东向俞允成点了点头,俞允成下了指令:「准备一下,拉第二根!」
考虑到彻底冷却之前,很多检验是做不了的,高振东和俞允成商量之后,决定一次性拉三根。
这东西体积可不算小,要彻底冷下来,也不是短时间能做到的。
乾脆,整三根出来,也能检验单晶炉和单晶矽对应工艺参数的可重复性,要知道,他们这个单晶炉可不是只准备搞个研究,只验证这条路线的可行性,而是要验证单晶矽量产的可行性。
一旦成功之后,这个单晶炉是要作为标准矽单晶生产设备量产的,自然相关的试验要求比拉一根试试要复杂丶严谨得多
否则以高振东的技术,加上俞允成的经验,也不会花上这好几个月了。
说起这事,俞允成就不由得泪流满面,豪横啊,想起自己拉4个9矽单晶的时候那捉襟见肘的情形,籽晶只有一枚,一旦失败,下一枚的资金都还没有着落。
再看看这里,一次就买了3枚,而且试验之前,高主任更是放话了,不要有压力,这3枚废掉了,总结经验,吸取教训,改进设备,调整工艺,再拉就是。
这就是背靠大树的感觉啊。
听了俞允成的指令,整个项目组的人很快行动起来,赶紧赶紧。
三根拉下来,加上其他七七八八的准备丶试验丶数据记录丶收尾等工作,也要花不少时间。
中间大家甚至还换班轮流去食堂吃了个饭,试验室有管理规定,尤其是正式试验期间,不能在实验室吃饭。
到了下午,三根矽单晶棒都拉制完成了,第一根已经冷却得差不多,送到检验室去了。
高振东没有离开,研究组的人也都在试验室,一个也没有离开,虽然把握很大,而且高振东给出的条件也不是一锤子买卖,可是眼看要出结果了,还是有些紧张。
他们并没有意识到,这涉及到一个行业的开创,未来几十年最为热门的技术方向,就是靠着刚才那几根黑乎乎亮闪闪的棒棒奠基的。
高振东也有些紧张,这个单晶炉,是他靠资料还原设计的,而不像DJS-59是系统出品,不过他脸上表现出来的,还是一副胸有成竹,云淡风轻,气定神闲的样子,他是领头的,下面的人可以慌,他不能。
他的神态,也让整个研究组的氛围都轻松了下来,老大都不慌,我们慌什麽,学学高主任,镇定一点。
到了快吃饭的时候,第一根矽单晶棒的第一批数据回来了。
「来了来了,成了成了!」
拿着数据奔过来的组员,一脸的兴奋,手里挥舞着几张纸。
听见「成了」两字,大家都彻底放松了下来,虽然这只是第一根的第一批数据,但是这已经代表这一步是稳了!
高振东站起身,把手伸了出来:「给我看看。」
他从组员手中接过数据,和俞允成两人脑袋凑到一起,一行一行的看了下去。
「杂质浓度,3ppm!哈哈。」俞允成笑出声来,最要紧的一项指标,已经达成了。
3ppm(百万分之一)的杂质浓度,意味着矽单晶的纯度达到了99.9997%,妥妥的5个9矽单晶,甚至已经开始接近6个9了!
这比他一开始的目标:5个9,杂质浓度下降了好几倍。
对于俞允成来说,一开始想都不敢想!
高振东对此也非常高兴,毕竟他知道这个单晶炉是靠谱的,但是具体能靠谱到什麽程度,那还是不知道的。
毕竟设计归设计,实现归实现,设计指标八楼高,实际成果地下室的事情也不少见。
杂质浓度对于矽单晶来说非常重要,在制作半导体器件的时候,为了得到需要的特性,对矽单晶进行掺杂的时候,常用的掺杂浓度单位是ppma(百万分之一原子比)丶ppba(十亿分之一原子比),前者更多用一些。
从这两个掺杂浓度单位就知道,1ppm的有害杂质对于半导体器件的影响有多大了。
实际上科技发展到高振东穿越的时候,半导体工业矽单晶纯度动不动就是9个9,而极限能做到16个9!
不过现在5个9的也能用了,更别说现在这个「半步6个9」的产品了。
不过还不能高兴太早,他们一项一项的继续往下看。
「晶体结构,没问题,单晶没跑了。」
「晶向,没问题。」
「电阻率,在预计范围内。」
一路看下来,两人神情振奋,别的不知道,至少这第一根,能看到的项目,是都妥了。
至于其他一些诸如氧含量丶碳含量丶少子浓度丶位错密度之类的参数,要麽还在测,要麽测不了。
不过这些都不影响高振东确定一件事情,至少这根矽单晶棒,没问题了!
就算后面两根出了问题,那也没什麽关系,至少这一根说明,这个炉子本身没问题,有问题的是我们的工艺和流程。
说实话,以到现在在单晶炉上投入的时间和成本来算,这炉子就算十根里面拉成一根,高振东都要夸它工作努力,成功