第466章 三种晶片
对方是做继电器丶电子元器件的,高振东大概就知道对方想拿6013做什麽了,接触材料,而且大概率是用于极为重要的项目的,否则这年头钨银材料的价格还是有点咬手,等闲不敢用。
高振东不太在意人家具体拿来干什麽,他在意的是对方的身份和厂子。
对于高振东来说,如果日后想把直投光刻进化为微缩投影光刻,那麽工件台丶掩模台运动的自动控制这一步就躲不过去,特别是工件台。
而工件台的自动控制,那麽就意味着工件台在运动过程中的定位这个问题就浮出水面了。
好在以现在的精度要求,工件台的运动控制是使用的手摇驱动齿轮丶丝杠减速机构,这东西有个好处,其运动状态的比值是可以确定的,比如通过齿轮齿比丶丝杠缠距等等参数直接计算就行。
这样一来,就好办了,把手摇转为电机,然后直接测量驱动齿轮的转动情况,就能直接算出工件台最终运动的距离了。
而这个初始驱动齿轮的转动情况的测量,最好的办法,毫无疑问就是多圈旋转编码器,至于是相对编码还是绝对编码问题不大,两者之间其实技术是共通的,只是绝对编码更复杂一些,而高振东现在的要求,多圈旋转相对编码器就够了。
至于绝对和相对的区别,主要就在于绝对编码器转轴的位置与输出值是严格对应的,输出的是一个数字,通过输出可以确定转轴所处的角度。
而相对编码器输出的是不是一个数字,不论以什麽方式输出,其核心是一个与转速丶方向丶转过角度有关的信号。
如果用导航系统来打比方的话,绝对编码器的输出类似GPS的输出,直接就是结果,而相对编码器的输出类似惯性导航系统的输出,最终结果得靠对输出进行解算。
这两种方式没有高下区别,只是应用场合的不同,比如电机自控制,一般场合下绝对编码器就没有相对编码器好使,后者输出的频率信号可以在经过简单处理转换后直接用于驱动PWM电路,控制电机转速。
只是这东西吧,国内自己生产,已经是80年的事情了,在这之前,从50年代开始就是一直使用的进口货,而且还不太好进口。
高振东想通过专业元件厂的同志,搞清楚现在能不能搞到编码器,能稳定搞到什麽样的编码器,哪怕同是多圈相对编码器,其中的区别和门道还是不少的。
如果能稳定搞到合适的,那就不用去折腾这个事情了,如果不行,那说不得要在这方面动动手了。
想了半天,高振东发现这个事情还不如直接去问十二机部,那边响应肯定比厂子要快,情况更全面,而这个厂子的出现,主要是起到了提醒自己的作用。
把电话放下,高振东叫人去叫小李。
一会儿小李就跑来了,进门就喊:「老师,有什麽要我去办的?」
看着他的样子,高振东突然有一丝恍惚,一年多前,自己进师父办公室大概也是这样子吧。
摇摇头笑了,高振东扔了一根烟给他,走到沙发边坐下来。
「两个事情,第一个,你去找我们部里,对接一下,有厂子需要我们的6013材料,你去落实一下这个事情。第二个,向十二机部呈文,询问一下现在国内旋转编码器的情况。」
前一个事情全是细节,还涉及到保密工作,小李去组织落实正好。
后一个非常笼统,对办事人员的能力也没啥要求,但是不适合大张旗鼓,小李去办也正好。
小李把高振东的话记下来,高振东又给他补充了一些相关情况和注意事项,拿着笔记本转身就跑,办事去了。临出门,还找高振东要了剩下的半包烟,直言老师的烟比较好一点。
——
十二月十六日,高振东接到了十二机部的电话,和旋转编码器的事情没有关系,而是他请十二机部确认的光刻胶和光学系统的事情有眉目了。
光刻胶方面,已经有同志搞好了一种负光刻胶以及配套的药物,速度还是很不错的。
高振东不在乎是正光刻还是负光刻,只要能确定是哪一种,他就能展开下一步的工作了——做掩模。
不知道能搞出来的光刻胶的正负,这一步就走不下去,原因很简单,两者的掩模是反的。
至于另外一个东西,也有了明确的消息。
东北光学所已经把第一步的光学系统搞出来了,也就是把一束雷射扩散为直径160mm平行光的问题。
其实这一步的光学系统并不是特别的困难和复杂,之所以花了这麽长时间,主要是光学系统不是把几个透镜摆上去那麽简单。
哪怕第一步并不需要重新聚焦,但是扩束准直丶均质这些光路还是少不了的,而且还要考虑工程上的可靠丶可用丶调节丶维护等问题,可以说,光路的设计,只是这里面的一部分。
虽然搞出来了,但是直接交付还是有些差距的,东北光学所的同志,还是希望课题的提出者能过去实地看看,也方便他们做最后的调整和完善。
不过东北光学所那边并不知道具体的课题提出者是谁,只好通知十二机部转达。